Oksijen çevrimi çok karışıktır, çünkü çok sayıda uygun kimyasal yolların bileşimi sonucu ve çeşitli şekiller altında oluşur. Oksijen çevrimi litosfer ve atmosfer arasında veya hidrosferle çeşitli çevreler arasında gerçekleşir.
Atmosfer oksijeninin kökeni biyojendir. İlk zamanlarda karasal ilkel atmosferde oksijen çok azdı. Otorof organizmalar sayesinde oksijen artışı oldu.
Antekambriyende (birinci zamandan önceki devir) büyük Fe
2O
3 formasyonları ilkel organizmaların faaliyetinde önemli olmuştur. Bugün kabul edilmektedir ki çok eski fotosentetik organizmalar F
2O
3 şekli altında hidrosferdeki demiroksit iyonlarıdır.Gezegenimizde bulunabilen ilk kayaç katmanlarının oluştuğu zaman, aynı zamanda yaşamın ortaya çıktığı dönemdir. Okyanuslarda, prokaryotik tek hücreli organizmalar bu dönemde ortaya çıkmıştır. Fotosentetik Siyanobakteriler, popülâsyonlarının artmasına paralel olarak giderek daha fazla oksijeni okyanuslara salmaya başlamışlardır. Başlarda bu oksijen, deniz suyundaki çözünmüş haldeki demirle birleşmiş, oluşan demiroksit okyanus dibine çökmüştür. Deniz suyundaki çözünmüş demirin bu yolla tasfiyesinden sonradır ki fotosentetik bakterilerce üretilen oksijen deniz suyunda çözünmeye, sonra da atmosfere karışmaya başlamıştır.Bugün atmosferde oksijen miktarının %1’e indiği atmosferin yüksek kısımlarında 35–50 km`ler arasında oluşan ozon tabakası bir ekran görevi yaparak ultraviyole ışınlarının en zararlı olanlarını tutar. Anaerobik solunumda sonra fotosentez evrimi gerçekleşti, yani fotosentez yapabilen canlılar ortaya çıktı. Bu canlılar su ve karbon dioksiti kullanarak glikoz ve oksijen üretmeye başladılar. Serbest oksijen böylece atmosferin stratosfer adı verilen tabakasında birikmeye başladı. Morötesi ışınlar, bu tabakadaki oksijen moleküllerine (O
2) çarparak bu moleküllerin iki oksijen atomuna (O + O) bölünmesi sebep oldu. Bu oksijen atomları da oksijen molekülleriyle birleşerek ozonu oluşturdular. (O + O
2 › O
3). Ozon tabakası bu şekilde oluştu. Ayrıca bu tepkimeler günümüzde de aynı şekilde oluşmakta. Ozon tabakasının üstünde yeterince oksijen bulunmadığı için tabakanın kalınlığı sınırlı. Daha alt tabakalara da morötesi ışınlar ulaşamıyor.
Her ne kadar moleküler oksijen suyun ayrışmasından meydana gelse de yüksek atmosferdeki yüksek enerjili radyasyonların etkisi altında atmosfer oksijeni biyojen kökenli olarak kabul edilir.
Oksijen çevrimi büyük bir kısmı ile atmosfer ile canlılar arasında gerçekleşir, oksijenin fotosentez sırasında gaz şeklinde çıkışı solunum sırasında oksijenin hidrojene taşınması ile suyun oluşması, organik maddelerin parçalanması ve bunun hettorotoflar tarafından kullanılması birbirinin karşıtı reaksiyonlardır.